Ga naar de inhoud
Bedrijven

Nikon sleept ASML voor de rechter voor inbreuk op techpatenten

Een ASML-werknemer in de stofvrije ruimte (cleanroom) waar chipmachines worden gemaakt. Beeld © ANP

Het Japanse Nikon sleept de Nederlandse chipmachinefabrikant ASML en diens lenzenleverancier Carl Zeiss voor de rechter wegens het onrechtmatig gebruik van gepatenteerde technologie.

ASML verkoopt momenteel hoofdzakelijk chipmachines die gebaseerd zijn op immersietechnologie. Daarbij wordt de lichtbundel waarmee schakelingen worden geëtst op plakjes halfgeleidermateriaal, nog scherper gesteld met behulp van een laagje vloeistof. Nikon claimt dat het die techniek heeft ontwikkeld en dat ASML er zonder toestemming mee aan de haal is gegaan. 

Het bedrijf is daarom juridische procedures begonnen in Nederland, Duitsland en Japan. In Nederland heeft Nikon de zaak bij de Haagse rechtbank aanhangig gemaakt

Volgens Nikon is er al enige tijd onderhandeld met ASML en Carl Zeiss, maar zonder resultaat. 

ASML: Geen inbreuk gemaakt

De ontwikkeling van immersietechnologie heeft volgens Nikon substantiële en aanhoudende investeringen gevergd. Door daar zonder te betalen gebruik van te maken heeft ASML de concurrentie ondergraven en zijn eigen marktpositie op oneerlijke wijze versterkt, vinden de Japanners.

ASML liet weten kennis te hebben genomen van de mededeling van Nikon. "We zullen dit bericht bekijken en er op een later moment op reageren. ASML ontkent met klem dat het op enigerlei wijze inbreuk maakt op patenten van Nikon. We zullen ons krachtig verweren in elke rechtszaak", aldus het bedrijf.

Dit is een artikel van